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產品簡介

隨著快速數據采集和數據處理技術的發展，電子顯微鏡進入了一個不僅重視數據質量，而且重視其采集過程的時代。SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高質量圖像、大束流分析及長時間穩定運行的冷場成像技術，同時還大大提升了高通量、自動數據獲取能力。

超高分辨成像：日立的高亮度電子源可保證了即使在超低著陸電壓下，也可獲得超高分辨的圖像。

先進的自動化功能：EM Flow Creator 允許客戶創建連續圖像采集的自動化工作流程。EM Flow Creator將不同的SEM功能定義為圖形化的模塊，如設置放大倍率、移動樣品位置、調節焦距和明暗對比度等。用戶可以通過簡單的鼠標拖拽，將這些模塊按邏輯順序組成一個工作程序。經過調試和確認后，該程序便可以在每次調用時自動獲得高質量、重現性好的圖像數據。

靈活的用戶界面：原生支持雙顯示器，提供靈活、高效的操作空間。6通道同時顯示與保存，實現快速的多信號觀測與采集。1,2,4 或6通道信號可在同一個顯示器上同時顯示，可切換內容包括SEM各探測器以及樣品室相機和導航相機。可以通過使用兩個顯示器來擴展工作空間，可定制的用戶界面以提高工作效率。