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產品簡介

日立高新推出的掃描電鏡SU3800/SU3900兼具操作性和擴展性，結合眾多的自動化功能，可高效發揮其高性能。SU3900標配多功能超大樣品倉，可應對大型樣品的觀察。

①SU3900標配多功能超大樣品倉，可應對大型樣品的觀察

■ 樣品臺可搭載超大/超重樣品

· 通過更換樣品提示，可防止由于與樣品的接觸而損壞設備或樣品

· 選配樣品交換倉，可在主樣品倉保持真空的狀態下快速更換樣品，大大提高了工作效率

· 具備樣品臺移動限制解除功能,提高了自由度*

· 紅外CCD探測器，提高了樣品臺移動的安全性

■ 支持全視野移動。SEM MAP支持超大樣品的全視野觀察

· 與GUI聯合，可配備樣品倉室導航相機

· 覆蓋整個可觀察區域

· 支持360度旋轉

②隨著各種自動化功能的強化，操作性能得到了進一步優化。

■ 一個鼠標就能夠輕松操作的簡約GUI

■ 各種自動化功能

· 自動調整算法經改良后，等待時間減少至以往的1/3以下(※S-3700N比例)

· 提高了自動聚焦精度

· 搭載Intelligent Filament Technology（IFT）

■ Multi Zigzag，可實現多區域的大視野觀察

■ Report Creator，可利用獲得的數據批量生成數據報告

③可提供滿足測試需求的應用解決方案

■ 可滿足多種觀察需求的探測器

· 搭載高靈敏度UVD*，支持CL觀察

· 高靈敏度半導體式背散射電子探測器，切換成分/凹凸等多種圖像

■ 配備了多功能超大樣品倉，可以搭載多種配件

■ SEM/EDS一體化功能*

■ 三維顯示測量軟件 Hitachi Map 3D*

■ 支持圖像測量軟件Image pro

產品參數

ITEM		SU3800	SU3900
二級電子分解能		3.0nm（加速電壓30kV、WD=5mm、高真空模式）
		15.0nm（加速電壓1kV、WD=5mm、高真空模式）
背散射電子分解能		4.0nm（加速電壓30kV、WD=5mm、低真空模式）
倍率		×5～×300,000（照片倍率*1）
		×7～×800,000（實際顯示倍率*2）
加速電壓		0.3kV～30kV
低真空度設定		6～650 Pa
圖像位移		±50µm（WD＝10mm）
最大樣品尺寸		200mm直徑	300mm直徑
樣品臺	X	0～100mm	0～150mm
	Y	0～50mm	0～150mm
	Z	5～65mm	5～85mm
	R	360°連續
	T	－20°～+90°
	最大可觀察范圍	130mm直徑（R并用）	200mm直徑（R并用）
	最大可觀察高度	80mm（WD=10mm）	130mm（WD=10mm）
	電機驅動	5軸電機驅動
電子光學系統	電子槍	中心操控式鎢絲發射
	物像鏡頭光圈	4孔可動光圈
	檢測系統	二級電子檢測器、高靈敏半導體背散射電子檢測器
	EDX分析WD	WD＝10mm（T.O.A＝35°）
圖像顯示	自動光軸調整功能	自動光束調整（AFS→ABA→AFC→ABCC）
		自動光軸調整（實時級別對齊）
		自動調整光束亮度
	自動圖像調整功能	自動亮度和對比度控制（ABCC）
		自動對焦控制（AFC）
		自動標記和焦點功能（ASF）
		自動燈絲飽和度調整（AFS）
		自動光束對準（ABA）
		自動啟動（HV-ON→ABCC→AFC）
操作輔助功能		光機旋轉、動態聚焦、圖像質量改善功能、數據輸入（點對點測量、角度測量、文本）、預設放大、樣品臺位置導航功能（SEM MAP）、光束標記功能
配件		■硬件:軌跡球、操縱桿、操作面板、壓縮機、高靈敏度操作低空探測器（UVD）、紅外CCD探測器、攝像機導航系統■軟件:SEM數據管理器外部通訊接口、3D捕獲、裝置臺移動限制解除功能、EDS集成
配件（外部裝置）		能量散射X射線分析儀（EDS）、波長色散X射線分析儀（WDS）、各種外部功能臺（加熱臺、冷卻臺、牽引臺）

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產品簡介

①SU3900標配多功能超大樣品倉，可應對大型樣品的觀察

②隨著各種自動化功能的強化，操作性能得到了進一步優化。

③可提供滿足測試需求的應用解決方案

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